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BSGS大宗特气系统

2022-10-03 11:48:07 0

深圳沃飞科技有限公司成立于2011年,公司注册资金2180万,是一家专业从事气体应用系统工程:电子特气管道系统、实验室管道供气系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特殊工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统,提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品销售于一体的高新技术企业; 荣获“国家高新技术企业”认定并取得证书。工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案。


大宗特气供应系统(BSGS)主要适用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工厂特气的集中供气,本文重点以集成电路芯片制造厂为背景来阐述。

大宗特气供气系统的设计

首先必须根据工厂所需用气量的情况,选择最合理和经济的供气方式。 氮气的用量往往是很大的,根据其用量的不同,可考虑采用以下几种方式供气:

1)、液氮储罐,用槽车定期进行充灌,高压的液态气体经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态后,供工厂使用。一般的半导体工厂用气量适中时这种方式较为合适,这也是目前采用最多的一种方式。

2)、采用空分装置现场制氮。这适用于N2用量很大的场合。集成电路芯片制造厂多采用此方式供气,而且还同时设置液氮储罐作备用,氧气和氩气往往采用超低温液氧储罐配以蒸发器的方式供应, 氢气则以气态方式供应,一般采用钢瓶组(Bundle)即可满足生产要求。

如用气量较大,则可采用Tube Trailer供气,只是由于道路消防安全审批等因素,目前在国内还很少采用此方式。相信随着我国微电子工业的飞速发展,相关的安全法规会更完善,Tube Trailer供气方式会被更多地采用。如果氢气用量相当大,则需要现场制氢,如采用水电解装置.

由于低温液氦储罐的成本相当昂贵,加以氦气用量不大,氦气一般采用钢瓶组(Bundle)的形式供应即可满足生产要求。随着大型集成电路厂越来越多地出现,氦气的用量也逐渐上升,国外已开始尝试使用液氦储罐,而且由于氦气在低于-4500F时才是液体,此时所有杂质在此液相中实际均已凝结在固体,理论上从该储罐气化的氮气已是高纯度,不用再经纯化处理。

随着国内半导体集成电路产业的飞速发展,将会出现一些半导体工厂较为密集的微电子生产园区,这时有可能采用集中的管道供气方式,即由气体公司在园区内建一大型气站,将大宗气体用地下管线送往各工厂。这种方式可以大大降低各厂的用地需求和用气成本,形成气体公司与半导体工厂多赢的局面。


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